THS-10 非接觸厚さ段差測定裝置

ターゲットマーク投影方式採用の顕微鏡を上下から非接觸で挾み込み、簡単に高精度測定が可能

THS-10は、上下2系統の顕微鏡光學系にターゲットマーク方式によるプリサイス?フォーカスユニットを組み合わせた光學式焦點位置検出方式の非接觸厚さ段差測定機です。被検物の正確な位置、形狀を確認しながら最大25mmまでの厚さ?段差測定が可能です。光學式なので操作が簡単で、ターゲットマークの上下の縦線を合わせるだけで誰でも簡単に高精度測定が可能です。
鏡體?
ブラケット
上下可動範囲粗動140mm、微動10mmまたは25mm
観察可能最大高さ150mm
落射照明ターゲットマーク(2種類選択)內臓照明、無段階ボリューム調光、
LED照明3W白
Z軸測定範囲10mmまたは25mm(Z軸スケール選択による)
Z軸測定精度Range≦1μm(0~10mm仕様)、Range≦2μm(0~25mm仕様)
※PLLWDM40×測定時
鏡筒正立三眼傾斜角20°正立像、眼福調整範囲54~75mm、Cマウント付
対物レンズPL?PLLWD?
SPLシリーズ
無限遠補正対物レンズ(∞)3?5?10?20?40?50?100×
接眼レンズNWF10X倍率10X、視野數16、偏芯実線クロスレチクル入り
ステージ移動量(X-Y)50×50?100×50?100×100(mm)
測定精度
(ステージ送り精度)
XY共:(4+0.02L)μm L:測定長(mm)
オプション除振デスク?カメラ?モニター?演算裝置?計測ソフト?
AF裝置(畫像処理式)
PDFファイルダウンロード THS-10カタログ THS-10外観図
月光影院完整电影