EMA-400 卓上型 マスクアライナ

コンパクト?高性能なのに低価格、研究開発に最適な卓上露光裝置

 本製品は、省スペースで手軽に扱え、しかも高性能?低価格、大學?企業研究室用として最適なマスクアライナです。  本製品の特徴は、このクラスとして初めて雙対物顕微鏡、インテグレータレンズ(照明系)を採用し、精度の高いアライメントと、焼き付けが行うことができます。
マスクサイズ最大□5インチ
ウエハサイズ最大φ4インチ
露光照明250W超高圧水銀燈
光學方式 インテグレータレンズ方式
照度ムラ ±5%以下
照度 20mW/cm2(405nm)
有効露光範囲 φ100mm
露光量:デジタルタイマーによるロータリーソレノイド駆動
露光モードソフトコンタクト、ハードコンタクト
解像度2μm(ハードコンタクト時)
アライメントスコープ雙対物顕微鏡
10倍対物レンズ 2個(N.A.0.15 W.D.30mm)
対物間隔 15~75mm
接眼レンズ NWF10×(視野數18)
総合倍率 100倍
ウエハステージXYステージストローク ±5mm
θ回転ストローク ±5°
Z軸ストローク 0~4mm
アライメント方式ウエハステージ移動によるマニュアルアライメント
アライメント精度±3μm
設置サイズ735(W)×490(D)×605(H)mm
設置重量約90kg
ユーティリティ電源 AC100V 15A 50/60Hz
真空(圧力) 21.3kPa(大気圧より-80kPa)
N² ガスまたはドライエアー(圧力)0.2MPa以上
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