HISOMET Ⅱ 高精度非接觸段差測定機

ターゲットマーク像を合わせるだけで、高さ?深さ?段差などのZ軸測定を簡単に高精度で実現

ハイソメットⅡシリーズは、光學式焦點位置検出方式の非接觸段差測定顕微鏡です。プリサイスフォーカスユニットの採用により、投影されたターゲットマーク像の上下の縦線を合わせるだけで、測定點の表面狀態を観察しながら、高さ?深さ?段差等の高精度測定が誰でも簡単に可能となります。  変形や打痕?キズなどの心配が無いので、IC等の電子部品や精密加工部品の測定に最適です。
鏡體?
ブラケット
上下可動範囲粗動140mm、微動10mmまたは25mm
観察可能最大高さ150mm
落射照明ターゲットマーク(5種類選択)內臓照明、無段階ボリューム調光、
LED照明3W白
透過照明
※オプション
テレセントリック照明、無段階ボリューム調光、
LED照明3W白
Z軸測定範囲10mmまたは25mm(Z軸スケール選択による)
Z軸測定精度Range≦1μm(0~10mm仕様)、Range≦2μm(0~25mm仕様)
※PLLWDM40×測定時
鏡筒正立三眼傾斜角20°正立像、眼福調整範囲54~75mm、Cマウント付
レボルバー4ケ穴付き対物レンズを4本まで取付可能
対物レンズPL?PLLWD?
SPLシリーズ
無限遠補正対物レンズ(∞) 3?5?10?20?40?50?100×
接眼レンズNWF10X倍率10X、視野數16、偏芯実線クロスレチクル入り
ステージ移動量(X-Y)50×50?100×50?100×100?150×150?200×100?
200×200?300×150?300×300mm
測定精度
(ステージ送り精度)
XY共:(4+0.02L)μm L:測定長(mm)
オプション除振デスク?カメラ?モニター?演算裝置?計測ソフト?
AF裝置(畫像処理式)
測定顕微鏡 PDFファイルダウンロード DH2カタログ DH2外観図
月光影院完整电影