DCM-40/60 両面位置確認顕微鏡

被検物の表裏両面の像を光學的に取り込み、表裏合成畫像からズレ量を比較観察測定

被検物の表裏両面の像を光學式に重ね合わせ、そのズレ量を比較観察し、メジャーリングシステムを利用して測定できる獨創的な顕微鏡です。被検物の表面と裏面に配置した対物レンズは5×から100×までの5種類があって多種多様な試料に対応できます。
DCM-40DCM-60
対物レンズ(上下ペアにて選択)5×?10×?20×?40×?100×
接眼レンズ(視野數24)10×(1ヶミクロスケール入り)2ヶ
TV観察Cマウント付
光路切り替え接眼-TV観察/表側単獨-裏側単獨-表裏合成
上部対物レンズ移動量24mm
下部対物レンズ移動量(物體側へ)1?3mm(対物レンズによる)
測定可能試料厚20mm以內
測定ステージ(移動範囲)50X50mmまたは100X100mm150X150mm
試料ホルダー4インチ対応可能6インチ対応可能
※試料形狀に合わせた特注仕様にて対応可能
基準チャート光軸合せ用十字スケール(100×用は同心円スケール付)
表裏光軸調整上側対物粗調整?上側結像光學系での微調整
照明上下共 150Wハロゲン光源-ライトガイド照明 開口絞り付
フィルター上面(緑)下面(赤)
測定精度(表裏ズレ量)±2μm±1μm
オプション除振デスク?カメラ?モニター?演算裝置?計測ソフト
PDFファイルダウンロード DCM-40/60カタログ DCM-40/60外観図
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